FISCHERSCOPE X-RAY XDL210菲希爾X射線測厚儀核心技術(shù)與性能
測量原理:運(yùn)用 X 射線熒光光譜法,實(shí)現(xiàn)對鍍層厚度的精準(zhǔn)測量,采用無損檢測方式,具備自動聚焦功能,可保障樣品完整性與測量準(zhǔn)確性。
元素測量范圍:涵蓋 Cl(17)-U(92),最多可同時(shí)測量 24 種元素、23 層鍍層。
硬件性能:
X/Y 平臺:移動范圍≥95x150mm,可用工作臺面≥420x450mm,能滿足多樣品放置與測量需求。
電動 Z 軸:支持手動 / 自動聚焦,移動范圍≥140mm,可適配不同高度樣品。
DCM 技術(shù):采用測量距離補(bǔ)償法(DCM),可實(shí)現(xiàn) 80mm 深度的腔體樣品遠(yuǎn)距離對焦測量。
高壓調(diào)節(jié):可變高壓支持 30KV、40KV、50KV 三檔調(diào)節(jié),可靈活應(yīng)對不同測試場景。
準(zhǔn)直器:配備 φ0.3 的圓形準(zhǔn)直器,可提升測量精度,還有 φ0.1mm、φ0.2mm 及長方形 0.3mmx0.05mm 等可選準(zhǔn)直器。
X 射線探測器:采用比例接收器,確保信號穩(wěn)定接收。
攝像頭:高分辨率 CCD 攝像頭,放大倍數(shù) 40 - 160 倍,便于樣品觀察定位,沿初級 X 射線光束方向觀察測量位置,有手動聚焦、十字線(帶有經(jīng)過校準(zhǔn)的刻度和測量點(diǎn)尺寸)、可調(diào)節(jié)亮度的 LED 照明,激光光點(diǎn)用于準(zhǔn)確定位樣品。
軟件與數(shù)據(jù)處理
操作系統(tǒng)與軟件:基于 Windows 7 以上中文操作界面,搭載 WinFTM 專業(yè)測試軟件,配備連接 PC 和打印機(jī)的 USB 接口。
統(tǒng)計(jì)計(jì)算功能:數(shù)據(jù)組集成時(shí)間和日期功能,具備平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、最大值、最小值等統(tǒng)計(jì)計(jì)算;支持公差范圍輸入,可計(jì)算 CP 和 Cpk 值,超范圍自動報(bào)警提示。
校準(zhǔn)與判定:采用基本參數(shù)法,內(nèi)置 12 純元素頻譜庫,實(shí)現(xiàn)無標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)測量;具備 MQ 值顯示,用于判斷測量程式與樣品匹配度,防止誤操作。
標(biāo)準(zhǔn)片:配備 12 種基準(zhǔn)純元素(Ag, Cu, Fe, Ni, Zn, Zr, Mo, Sn, W, Au, Pb, Cr)標(biāo)準(zhǔn)片。