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一、核心技術(shù)架構(gòu)：微米級(jí)測(cè)量的底層邏輯

1. 機(jī)械傳感系統(tǒng)

• 測(cè)針：90° 錐角金剛石測(cè)針，針尖曲率半徑 5μm，經(jīng)激光校準(zhǔn)確保觸針垂直偏移量≤0.5°

• 驅(qū)動(dòng)單元：采用音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)，線性導(dǎo)軌直線度誤差在≤0.1μm/10mm，速度控制精度達(dá) ±0.5%

2. 信號(hào)處理鏈

• 壓電傳感器：采用 PZT-5H 陶瓷材料，頻響范圍 0-10kHz，可捕捉 5nm 級(jí)的微小位移

• 數(shù)字濾波：集成高斯濾波、2RC 濾波等 6 種標(biāo)準(zhǔn)濾波器，支持 ISO 11562 規(guī)定的截止波長(zhǎng)自動(dòng)切換（0.08-8mm）

3. 算法引擎
   內(nèi)置 32 位 ARM 處理器，搭載泰勒開發(fā)的 FastRA 算法，可在 2000 點(diǎn) / 秒的采樣率下實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)參數(shù)計(jì)算，滿足 GB/T 1031-2009 等 12 國(guó)標(biāo)準(zhǔn)的算法兼容。

二、場(chǎng)景化創(chuàng)新：工業(yè)痛點(diǎn)的針對(duì)性突破